光學零件加工完工后的檢驗全為面型檢驗與表面質量的檢驗。面型檢驗是指檢測拋光完成后的光學零件的曲率半徑是否達到設計要求，是否存在局部誤差。表面質量所要檢測的是光學面是否存在表面瑕疵，角度、平行度是否達到要求等。拋光完成后的光學零件與光學設計的面型極為接近，再者之間的差距以光波長計，如λ/2，甚至更小，如λ/10.對于這樣高精度的拋光表面常用干涉圖樣法和陰影法檢測。